マイクロストリップラインを用いた簡易な電流波形の校正法

抄録

LSI電源を流れる高周波電流の周波数スペクトラムを非接触計測する方法は、LSI単独のEMI (Electroma-gnetic Interference)の評価に利用されIECでも標準化されている。周波数スペクトラムの計測は、時間平均的なLSIの動作を検討するためには有用であるが、LSIの詳細な動作状態を解析するためには時間波形を計測することが必要である。本発表では，小型磁界プローブを用いた時間波形計測用の電流校正法を検討したので報告する。また，本手法を用いて複数のマイクロストリップラインの電流計測を行い測定誤差の検討も行った。