マイクロミラー駆動用アクチュエータの開発

抄録

多層薄膜ポリシリコンを利用した新しい熱駆動トーションアクチュエータを開発した。これは、現在光スイッチ等で実用化されている静電気力駆動のアクチュエータと比較して1.84V、1.24ｍＡといった低電圧低電流駆動で駆動可能というメリットを持っている。さらにねじり角として-2.06から1.66度、垂直距離として5.98μmといった性能があり、マイクロ実装における部品の位置決め、光コントロールのためのマイクロミラー駆動等に利用できる。