マイクロ流体チップを搭載した電子回路デバイスの開発

抄録

本研究では、化学反応の単位操作(原料流体の流入、温度制御、反応、生成物の流出)をワンパッケージ化した流体MEMSシステムを構築するため、反応器要素や微小機械要素をチップ上に小型化し、集積化したμ-チャンネルチップを開発し、これを電子回路内に実装する方法について検討した。