抄録
近年ビアフィリング用硫酸銅めっき添加剤の研究が活発に行われている。我々は貫通スルーホールにおける析出性（コーナー部の析出性）、ビアにおけるフィリング性共に良好である添加剤を開発した。開発浴にて実際に量産稼働した場合、フィリング性安定化のためにいくつかの課題点があることが判った。安定したフィリング性を持続して得るためには、添加剤濃度の管理、ビア形状、ビア底部における無電解銅めっきの付き周りおよび液流動が重要となる要素であり、これらの条件および状態が悪いとボイド、シームの発生やフィリング性の低下に繋がる。本研究では、量産稼働浴におけるフィリング性低下の発生原因、およびその対策について検討した。
