レーザ変位計による高密度フレキシブル配線板の外観検査

抄録

本研究では、レーザ変位計を用いてフレキシブル配線板の外観検査への適用を検討する。レーザ変位計はレーザ光により非接触で物体の距離、寸法、形状などを測定するものである。しかし、使用されたフレキシブル配線板の表面は光沢があるため非接触高精度に計測することは難しい。レーザ変位計の特徴を利用し計測困難なフレキシブル配線板上のリードの形状を高精度に計測する。目標とする寸法計測精度を分解能1μmに設定し、リードの高さと幅の算出を行う。