配線用銅薄膜の力学的性質の評価に関する研究

第21回エレクトロニクス実装学会講演大会

セッションID: 16A-15

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キーワード: 銅薄膜, 力学的性質

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抄録

本研究では，4種類の配線用銅薄膜のヤング率，比例限度，降伏強度，引張強さおよび伸び等の力学的性質の評価を行った．用いた銅薄膜は圧延銅，電解銅，DCめっき銅およびパルスめっき銅であり，力学的性質に及ぼす圧延方向や熱処理の影響について考察した．