放射光光刺激エッチングによるPTFEの高アスペクト比微細加工

抄録

PTFEは絶縁性や耐熱性、耐薬性などの特性から多様な応用が考えられる。本稿ではPTFEの放射光光刺激脱離による高アスペクト比微細構造体形成技術を用い、マイクロ流体デバイスの試作を行なったので報告する。