抄録
近年、システムＬＳＩの高速・低電圧化が進んでいる。このため、配線の抵抗や寄生インダクタンスによる電圧降下の影響が大きくなり、誤動作しやすくなっている。 現在、我々はシステムＬＳＩを安定動作させるインターポーザとして、既存のチップ部品を内蔵し配線長の短縮を図ったチップコンデンサ内蔵インターポーザの開発を行っている。また、大容量化が可能なシート状コンデンサを基板プロセスで作りこんだものについても検討を進めている。 本報告では、これらのコンデンサ内蔵インターポーザによる電源電圧変動抑制の効果について報告する。
