貴金属めっき用ドライフィルムレジストの開発

抄録

低抵抗性・耐食性・はんだ付け性やボンディング性に優れるAuをはじめ貴金属めっきは小型電子デバイスへの応用が盛んに進められている。今回、中性～アルカリ性のシアン浴での電解貴金属めっき浴に耐え、解像度、密着性に優れるドライフィルムレジストが得られたので報告する。