抄録
LTCCグリーンシートにスルーホールを形成する方法には、レーザーパンチング法が優位で広く用いられ、最小穴径はおよそ40μm程である。更なる小型化のために、フォトレジストフィルムを用いた、LTCCグリーンシートへのスルーホール形成法を考案した。離形フィルムに接着されたフォトレジストフィルムに、マスクを通して露光を行い、パターンを得た。その上にLTCCスラリーをドクターブレード法にて塗布し、乾燥させた。最後にアルカリ性の溶液でレジストを除去し、スルーホールを得た。形成されたスルーホールの最小寸法は30μmで、グリーンシートの厚さは20μmであった。また、この方法を用いて、異型のスルーホール形成も行った。
