エッチングレスプロセスによる大面積フレキシブル光配線板作製プロセスの検討

抄録

高品質かつコストパフォーマンスに優れた感光性ポリシランを用い、マスク露光およびレーザー直接描画による大面積マルチモードのフレキシブル光導波路作製方法を検討し、A4版以上の大面積光配線板を、マスクレスプロセスで作製可能なことを明らかにした。