ダイシングを用いた多チャンネルポリマー光導波路フィルムの作製

抄録

機器、筐体内の光配線用導波路作製を目的に、スピンコートによる膜形成とダイシング工程のみの簡便なプロセスを用いて多チャンネルフッ素化ポリイミド光導波路フィルムを作製し、良好な透過特性を持つことを確かめた。また、筐体内で、高密度に接続することが可能な、垂直光路変換用45°ミラーの作製についても報告する。