ネガ型反応現像画像形成法に基づくアルカリ水溶液現像型感光性スルホン化ポリイミドの開発

抄録

側鎖に少量のスルホン酸基を導入したポリイミドに反応現像画像形成を適用することにより、アルカリ水溶液現像によるネガ型パターン形成を試み、スルホン酸の導入率が現像特性に及ぼす影響を調査した。また、現像終了時における露光部の残膜率の向上、および加熱処理によるスルホン酸基の脱離を検討した。