フリーシアン浴を用いた電解銀めっきによるワイヤーグリッド偏光フィルムの作製

抄録

高反射率、高電気伝導率である銀は、電子機器の光学用途に期待されている。銀は難加工性であることから、複雑形状を有する微細構造物の作製に際し、電解めっきによる方法が注目されている。一般的に電解銀めっきにはシアン浴が用いられるが、フリーシアン浴への代替は重要な課題である。本研究では、幅150nm、深さ150nmのトレンチを持つフィルム基板に対してフリーシアン浴を用いた電解銀めっきによりトレンチ内部の完全充填を試みた。またワイヤーグリッド偏光フィルムを作製し、その光学特性、電気特性評価を行った。