機能性液体を用いた自己組織化チップ実装技術

抄録

気相中での液体の表面張力を利用するセルフアセンブリ技術は、アライメント精度とタクトタイムのトレードオフを解決できるため、３Ｄ集積化において特に注目度が高い。今回、酸化物除去作用のある機能性液体をアセンブリ媒体として用いて、はんだバンプを介するフリップチップセルフアセンブリを行った。高い表面張力と高い酸化物除去能力を有するように液体の組成を最適化し、はんだ上の酸化膜除去と３×３ｍｍチップのサブミクロン精度アライメントに成功した。作製した実装構造体は良好な電気特性を示すことも確認した。