金属接合部のエレクトロマイグレーション発生メカニズムの基礎と信頼性課題

抄録

はんだ接合部のエレクトロマイグレーションについて、発生メカニズムなどの基礎、現状の研究開発状況、さらに、今後の課題について解説する。