赤外線サーモグラフの空間分解能評価方法に関する考察

抄録

電子機器の高密度実装化が進み、熱設計において、微小電子部品の正確な温度測定が重要な課題になってきている。温度の測定にはしばしば赤外線サーモグラフが用いられるが、微小な面積の温度の測定に際しては、あらかじめ空間分解能を把握しておく必要がある。ここでは、赤外線サーモグラフの新しい空間分解能評価方法を提案する。