レーザ光束角度振れ検出による表面形状測定装置を用いたLCD評価

抄録

レーザ光束角度振れ検出による表面形状測定装置を用いて、LCD部材の評価を行った。原子間力顕微鏡では測定が困難であったやわらかい表面についてもnmオーダーの測定が可能であるため、光配向表面に液晶を蒸着した表面トポロジーだけでなく、半透過型LCDの検査なども容易に行うことが出来る。