イオンビーム配向による配向膜の光学異方性と配向特性

抄録

ラビングに代わる非接触配向技術としてダイアモンドライクカーボン(DLC)配向膜にイオンビーム(IB)を照射するDLC/IB配向技術が実用化されている。この配向のメカニズムに関して、IB後のDLC膜上ではC=Cの異方性が観察され、これが液晶配向に寄与していると考えられている。今回、IB照射量に対する膜表面光学異方性のモデルを検討し、DLC膜上で適用できるか検討した。さらにDLC膜以外の各種膜にIB照射を行い、表面光学異方性と配向特性を比較し、IB配向との相性を評価した。