無機垂直配向膜を用いた液晶の配向制御

抄録

今回我々はlow-k材料である多孔質SiOxからなる配向膜側鎖を有しない新規な無機垂直配向膜の大気焼成及び真空焼成の２種類について蒸着条件を変えて、SiOxの真空斜方蒸着を行い、プレティルト角発生を試みた。その結果、真空焼成は配向に均一性が認められず測定に至らなかったが、大気焼成は蒸着膜厚変化及び蒸着角度変化に対して、従来の配向膜側鎖を有する無機垂直配向膜と同様なプレティルト角特性が得られた。