超音波アクチュエータ

抄録

超音波振動から直線運動や回転運動を得る超音波アクチュエータについて，摩擦駆動の超音波モータを中心に，その原理と構成例，得られる特性について解説する．圧電セラミックス素子で発生した往復運動である振動から一方向運動を得るための原理として，複合振動形と進行波形に分けて説明し，複合振動形を例に得られるべき性能を論じる．また，それぞれの方式で直線運動を得る構成方法，回転運動を得る構成方法を具体的に紹介する．また，効率や寿命を改善する最近の試みについても述べる．