含酸素揮発性有機化合物(OVOCs)は、対流圏大気中に普遍的に存在し、大気質や気候変動に対して重要な役割を担っている。大気OVOCs、特にメタノール、アセトアルデヒド、アセトンのような短鎖OVOCsの化合物別安定同位体分析(CSIA)は、それらの発生源を特定する方法として有効であり、計測法開発や実際試料への適用が進められてきた。さらに、部位別安定同位体分析(PSIA)は、大気OVOCsの新たな発生源情報を提供する分析法として期待されている。ここでは、主要な短鎖OVOCsの部位別同位体計測法開発の現状および適用例を示し、大気OVOCsの発生源特定における課題を議論する。