二次中性粒子質量イメージングシステムの開発

抄録

我々のグループでは、一次イオンビームによってスパッタされた中性粒子をフェムト秒レーザーでポストイオン化する二次中性粒子質量分析計(SNMS: Secondary Neutrals Mass Spectrometer)の開発を行っている。本研究では、現行のSNMSの制御系を外部操作することで、イオンビームを走査し、各座標における質量スペクトルを取得する、質量イメージングシステムの構築を検討した。そのための予備実験としてラインスキャンを行った結果、先行研究と同程度の空間分解能が得られることを確かめることができた。