沸石の化学組成は古くは重量法や滴定法といった湿式分析で見積もられてきたが、近年では局所化学定量分析の定番である電子マイクロプローブ分析(EPMA)法による分析も行われている。しかし、EPMA分析では細く絞った電子ビームを微小領域に照射し続けるため、脱水による構造改変や元素の蒸発などの試料ダメージの可能性を孕んでいる。特に、沸石はビーム照射による表面ダメージが大きい材料の一つであり、信頼できる化学定量値を得るためにはビームダメージを抑える必要があり、そのためにラスタースキャンが有効であることは石原・大藤(2024, 鉱物科学会)で報告した。本研究では、電子ビームによるプローブ周辺の温度上昇について陰解法による有限要素法によって検証し、ビームダメージの寄与プロセスについて検討する。
