電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌）
Online ISSN : 1348-8155
Print ISSN : 0385-4221
ISSN-L : 0385-4221
微結晶化Si: Ge薄膜の熱電効果とパワーセンサへの応用
古田土 節夫, 中村 正男, 宮越 俊彦
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1989 年 109 巻 12 号 p. 841-848

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