微結晶化シリコン薄膜熱電対を用いた集積化パワーセンサ

電気学会論文誌Ｃ（電子・情報・システム部門誌）

Online ISSN : 1348-8155
Print ISSN : 0385-4221
ISSN-L : 0385-4221

微結晶化シリコン薄膜熱電対を用いた集積化パワーセンサ

古田土節夫, 杉浦吾男

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ジャーナルフリー

1989 年 109 巻 12 号 p. 834-840

DOI https://doi.org/10.1541/ieejeiss1987.109.12_834

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