電気学会誌
Online ISSN : 1881-4190
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—鉛筆や宝石だけじゃない!プラズマが拓く炭素材料の未来—
ハイパワーインパルス技術によるsp3リッチカーボン膜合成
行村 建太田 貴之上坂 裕之
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2015 年 135 巻 3 号 p. 154-156

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抄録
1.DLC (Diamond-Like Carbon) カーボンに関連する材料は電子,機械産業はもとより,バイオ材料にいたる広い範囲で使われている。このような多様な応用は,カーボン関連材料にはグラファイト,グラフェン,ダイヤモンド,アモルファスカーボン (a-C),DLC (Diamond-Like Carbon) などの多くの同素体が存
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© 2015 電気学会
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