特集：ミニマルファブ —新しい半導体製造プラットフォーム—
ミニマルファブにおける固有プロセス技術
2015 年 135 巻 8 号 p. 543-548
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2015 年 135 巻 8 号 p. 543-548
1．はじめに ミニマルファブでは，すべての半導体製造装置は新規開発であり，ゼロからモノづくりを行う必要がある。しかも，特集2の「ミニマルファブのライン開発」(1)でも述べたように，ミニマルファブでは，300mmの既存システムに対して，装置フットプリントを1/100に，また装置消費
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