特集：ミニマルファブ —新しい半導体製造プラットフォーム—
デバイス試作の現状と課題
2015 年 135 巻 8 号 p. 549-553
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2015 年 135 巻 8 号 p. 549-553
1．はじめに ミニマルファブでは，どのようなデバイスを作っていくべきなのか。世の中には無数にデバイスがあるが，一度に無数の種類を開発するわけにはいかないため，手がけるデバイス種は熟慮して決めなければならない。当然，製造装置群が完璧にそろわないうちは，デバイスはできないので
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