特集：産業機器を支える制御技術—精密サーボ技術の実際—
精密サーボ技術のための軌道追従制御理論
2017 年 137 巻 1 号 p. 11-14
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2017 年 137 巻 1 号 p. 11-14
1．はじめに
精密位置決めステージやHard disk drive（HDD）といった精密サーボシステムにおいて，目標軌道への追従性能は製品の性能を決定づける重要な指標である。高速高精度に位置決めをするために，フィードバック（FB）制御器とフィードフォワード（FF）制御器の双方をもつ2自
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