解説
MEMS振動型ジャイロスコープ
2019 年 139 巻 3 号 p. 160-163
詳細
2019 年 139 巻 3 号 p. 160-163
1．MEMS 振動型ジャイロスコープの概要
回転を測るジャイロスコープは，ロボットや飛翔体の姿勢制御，慣性計測などに必須のものである。近年では，MEMSジャイロスコープ技術により，数mm角ほどの超小型かつ低価格のMEMSジャイロスコープが実現されており，ドローンなどの小型航空機の普及などに貢献してい
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