微細化の進むメモリ生産に迫る

抄録

1．はじめに

広島県東広島市の郊外に目を引く巨大な工場がある。マイクロンの広島工場（図1）である。マイクロンはアメリカ　アイダホ州ボイシに本社を置き，世界中でさまざまなメモリの生産を行っている世界有数の半導体メーカである（図2）^（1）。特に広島工場はDRAM（Dynamic Random

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