レーザ分光による粒子密度・温度計測

抄録

1．はじめに

放電プラズマの応用技術では，活性種の反応が重要である^（1）。例えば空気中放電では，N₂，O₂，H₂O分子が解離して生成されたN，O，OH，Hなどの活性種の反応で，環境汚染ガス処理や，材料の表面改質を行う。このほかにも水処理，医療応用，燃焼支援，着火など，活性種の反応を