解説
リニアモータとエアシリンダを併用した超精密位置決め装置の制御
2023 年 143 巻 3 号 p. 146-149
詳細
2023 年 143 巻 3 号 p. 146-149
1．圧縮空気の有効エネルギーとエアパワー
1.1 空気の圧縮と仕事
生産装置などを駆動するアクチュエータ（例えばステージやシリンダ）の駆動源として，電動モータ・油圧・空気などが必要に応じて使い分けられている。これらの駆動方式は対立するものではなく，用途に合わせて最適なものが選定されるべきである。一つの駆動装置で二つ以上の駆動
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