十見百聞
半導体製造の未来を支える下町のエンジニア
─高周波加熱装置の技術開発現場を訪ねて─
2023 年 143 巻 6 号 p. 315-318
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2023 年 143 巻 6 号 p. 315-318
1．はじめに
1980年代，パワーエレクトロニクス技術が導入されはじめたころ，半導体分野は日本の得意分野でほぼ独占状態であった。ところが現在，いつの間にか外国に後れをとっている。自動
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