東京大学工学部電気工学科
通産省工業技術院
電子技術総合研究所宇宙技術研究室
東北大学工学部機械知能工学科
東京大学
名古屋大学工学部電気科
1993 年 113 巻 7 号 p. 545-558
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電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
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