電気学会誌
Online ISSN : 1881-4190
Print ISSN : 1340-5551
ISSN-L : 1340-5551
マイクロマシン―
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江刺 正喜
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キーワード: マイクロマシン, センサ, マイクロアクチュエータ, マイクロマシーニング, 微小電気機械システム(MEMS)
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1997 年 117 巻 12 号 p. 823

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