電気学会誌
Online ISSN : 1881-4190
Print ISSN : 1340-5551
ISSN-L : 1340-5551
マイクロシステムの物理学
下山 勲
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キーワード: スケール効果, 支配力, MEMS, マイクロマシン, マイクロロボット
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1997 年 117 巻 12 号 p. 840-842

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