電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
Online ISSN : 1347-5525
Print ISSN : 1341-8939
ISSN-L : 1341-8939
特集解説
マイクロ熱発電技術
宮崎 康次
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キーワード: 熱電発電, 薄膜, MEMS
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2013 年 133 巻 9 号 p. B237-B241

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抄録
The studies on micro thermoelectric generators are reviewed in the present paper. The configuration of the devices is introduced for understanding the mechanism of thermoelectric generators. The fabrication processes and the output power of the micro thermoelectric generators are discussed. Finally, the micro-thermoelectric devices using nano-structured materials are introduced to understand the effects of thermoelectric properties on the device performance.
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© 2013 電気学会
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