電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)
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特集論文
超高感度スピン歪検知素子およびスピンMEMSマイクロフォンの開発に関するレビュー
藤 慶彦原 通子東 祥弘加治 志織増西 桂永田 友彦湯澤 亜希子大津 賢治岡本 和晃馬場 祥太郎小野 富男堀 昭男福澤 英明
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2018 年 138 巻 7 号 p. 287-293

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抄録

This review provides the spintronic strain-gauge sensor (Spin-SGS) based on a magnetic tunnel junction (MTJ) with a high gauge factor in excess of 5000, which was realized by adopting a novel amorphous Fe-B-based sensing layer with high magnetostriction and low coercivity in a high magnetoresistance Mg-O barrier MTJ. This review also provides a demonstration of novel “Spintronic MEMS (Spin-MEMS) microphone,” in which a series of Spin-SGSs are integrated onto a bulk micromachined diaphragm. The Spin-MEMS microphone exhibits a signal-to-noise ratio (SNR) of 57 dB(A) due to the high strain sensitivity of the Spin-SGSs.

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© 2018 電気学会
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