電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
Online ISSN : 1347-5525
Print ISSN : 1341-8939
ISSN-L : 1341-8939
高アスペクト比リソグラフィによる電鋳型の作製とその応用
中村 滋男, Skandar Basrour, 鈴木 耕世, 藤田 博之
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キーワード: マイクロマシン, 高アスペクト比リソグラフィ, 電鋳, アクチュエータ
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1997 年 117 巻 10 号 p. 532-533

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