抄録
駆動周波数によって磁気結合型プラズマの特性がどのように変化するかは、ランプ効率を考える上で重要であるが、その詳細報告はなされていない。本研究の目的は、磁気結合型プラズマの特性を計測するシステムを構築し、プラズマの特性が駆動周波数によってどのように変化するかを把握することである。本発表では、実際に構築した計測システムでプラズマの測定を行い、電子温度を求めたので、その結果について報告する。 13.56MHzプラズマの電子温度は時間変化に対して、追従して変化できないためほぼ一定となる。150kHzの場合、電子温度は時間変化に対して追従できる。13.56MHｚのプラズマの電子温度と150kHzのプラズマの時間的に平均した電子温度を測定した。 その結果、駆動周波数が高いほうが電子温度が高くなることが確認された。150kHz点灯時の電子温度の時間変化を測定すると、ばらつきがあるもののほぼ一定だと思われる結果を得た。
