3-7 Co含有酸化鉄薄膜メディアの酸化処理効果

平田 京; 山本 節夫; 栗巣 普揮; 松浦 満; 土井 孝紀; 田万里 耕作

doi:10.11485/iteac.2001.0_40

映像情報メディア学会年次大会講演予稿集

Online ISSN : 2424-2292
Print ISSN : 1343-1846
ISSN-L : 1343-1846

セッションID: 3-7

DOI https://doi.org/10.11485/iteac.2001.0_40

会議情報

会議名: 2001年映像情報メディア学会年次大会

開催地: 広島国際会議場

開催日: 2001/08/27 - 2001/08/29

3-7 Co含有酸化鉄薄膜メディアの酸化処理効果

平田京, 山本節夫, 栗巣普揮, 松浦満, 土井孝紀, 田万里耕作

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抄録

Co-containing ferrite thin-films media deposited by reactive ECR sputtering was oxidized by ECR oxygen plasma. The perpendicular coercivity and squareness were increased by ECR plasma treatment for only 90 seconds.

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