超高速表面検査を実現する分散融合型暗視野レーザスキャナー

映像情報メディア学会誌

Online ISSN : 1881-6908
Print ISSN : 1342-6907
ISSN-L : 1342-6907

（第6回）

超高速表面検査を実現する分散融合型暗視野レーザスキャナー

矢崎秋夫, 合田圭介, Bahram Jalali

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キーワード: 表面検査, 高速検査, 高速イメージング, 分散融合, 暗視野, レーザスキャナー

ジャーナルフリー

2015 年 69 巻 7 号 p. 574-579

DOI https://doi.org/10.3169/itej.69.574

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