4．ポストCMOSに向けた酸化物薄膜の機能とその成膜技術

映像情報メディア学会誌

Online ISSN : 1881-6908
Print ISSN : 1342-6907
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伝統から未来へ：ポストCMOSへの胎動

4．ポストCMOSに向けた酸化物薄膜の機能とその成膜技術

藤田静雄

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ジャーナルフリー

2023 年 77 巻 3 号 p. 282-284

DOI https://doi.org/10.3169/itej.77.282

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