金属被覆FEAの電子放出特性

抄録

本研究では、n型シリコンを用いて電界放出アレイを作製し、その電界集中因子βの経時変化及び放出電流特性を測定した。さらに、W及びCrで被覆された電界放出アレイを作製し、同様の測定を行った。Wを被覆することにより、電界集中因子βの経時変化の値が安定することを確認した。また、金属被覆することにより、低電圧での電子放出を確認した。