抄録
AC-PDPの低コスト化のために、化学溶液法によるAC-PDP用誘電体保護膜の形成について検討を行った。金属Mgとエチレングリコールモノメチルエーテルの反応により得られた化合物を主成分とした溶液を用い、大気中でパネル上にスピンコートし、500℃で焼成することによりMgO膜を調製した。その結果、(111)面方向に配向した透過率95%以上の膜が得られた。また、このMgO保護膜形成後に試作したPDPパネルについて放電電圧を測定した結果、この膜は電子ビーム蒸着法により調製したMgO膜と同等の特性を有することが碓認できた。
