抄録
低速電子線励起発光(CL)において色純度の優れた青色発光を示すSrGa_2S_4:Ce薄膜蛍光体を多元蒸着法を用いて作製を試み、作製した薄膜の構造及び発光特性について評価を行った。本実験ではGa_2S_3/Sr供給比の変化による発光特性の変化について検討した。さらに、薄膜の結晶性及び発光特性を改善する方法として、H_2S及びAr雰囲気中で熱処理を施した。その結果、CeCl_3/Sr供給比を0.03、Ga_2S_3/Sr供給比を60倍として堆積させAr雰囲気中、850℃熱処理を行った薄膜において、励起電圧5kVとしたとき約1000cd/cm^2の輝度が得られ、CIE色度座標(0.11、0.098)の強い青色発光を示した。
