抄録
高速撮像に適した8チャンネル並列読み出しCCDを開発した。撮像領域を短冊状の8つのブロックに分割し、各々のブロックをそれぞれ独立のアンプから読み出す。VCCDの隣にPD(フォトダイオード)のない領域を作り、VCCDの最終段に配置したHCCDにかけて絞り込む。そそて、VCCDの絞込みによって生じたスペースに読み出しアンプとその周辺回路を配置する。これによりアンプ間特性の均一化を図ることができる。VCCDの高速転送のために裏打ち配線構造を導入し、VCCDの折れ曲がり構造に対しては3次元のデバイスシミュレーションにより構造最適化を行った。セルサイズを11.5μm×11.5μmで設計し、またVCCDの絞込み構造によりアンプをFDAに最隣接させることで、高ダイナミックレンジを実現した。
