抄録
希土類(Tm, Tb, Eu)を添加したY_2O_3薄膜蛍光体は、石英、ITO付ガラス基板及びZnO付石英基板上に電子ビーム蒸着法を用いて作製し、その結果、Y_2O_3薄膜蛍光体は立方晶を形成し、かつ、その結晶性は基板と基板温度に依存していることが分かった。[0001]配向したZnO付基板上に蒸着したY_2O_3:Tm薄膜は、ITO付基板上に蒸着したものより良い結晶性とCL輝度を示した。Y_2O_3:Tm、Y_2O_3:Euにおいて、青、緑及び赤色薄膜蛍光体として試みた。これらの薄膜蛍光体の色度座標は、Tm(0.13, 0.07)、Tb(0.58, 0.35)及びEu(0.32, 0.57)を示し、3kV、60μA/cm^2励起で、2.19(Tm), 187.0(Tb)及び89.4cd/m^2(Eu)を示した。希土類添加RGB発光Y_2O_3薄膜の結果は、電界放射型ディスプレイにおける高輝度、良色度の潜在力を持っていると考えられる。
